除振台 磁場キャンセラ 日本防振株式会社

◎ 磁場キャンセラ

電子線応用装置を磁場変動から守ります

磁場変動を高感度磁場センサ及びデジタルコントローラで検出し、ヘルムホルツコイルを用いて逆位相の磁場を発生させることで磁場変動を抑制するシステムです。

用途： SEM、TEM、FIB、EBL、MASS、マスク検査装置、測長SEMなど

磁場キャンセラ搭載イメージ

シールドによる磁場対策に比べ 約1／10のコスト削減を実現 装置周辺にコイルを固定するだけの簡単施工 最大40dB～60dBの優れた減衰性能

製品写真は特許機器株式会社様の許可を頂き掲載しております。